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測量范圍:300*200*200
精度:2.0+L/150umXY
XY速度:300mm/s
XY最大加速度:800mm/s^2
160W像素黑白相機
7.5變倍鏡頭組
彩色點光譜共焦位移傳感器幾何元素測量、形位公差評定
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3D復合測量機
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